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CP12 全自动12英寸探针台

项目(mu)

CP12探针台

机台尺寸

1620mm(W) *1230(D)*1450mm(H)

适用晶圆

200mm,300mm

晶(jing)圆厚度

250~2000μm

Die Size

350μm ~76,000μm

晶(jing)圆搬运方式

背面真空吸取,双(shuang)Arm

针测精(jing)度(du)

XY:±1.5μm;Z:±2.5μm

XY平台

重复定位精度±1μm

Z轴(zhou)

重复(fu)定(ding)位精(jing)度±1.5μm,最大速(su)度30mm/s

针测压力

50kg(可选200kg)

校(xiao)准方(fang)式(shi)

图像校准,高低(di)倍模(mo)板匹配(pei)

Index Time

240ms(基于Die Size 6mm,Z Clearance 0.5mm)

测试温度(du)

常温~150℃±1℃

通讯接口

GPIB,预留TTL和RS232

可(ke)选功(gong)能(neng)

ID读(du)取(qu),自动换卡

 

※主(zhu)要(yao)针对CIS和SOC产品推出的高性价比探针台

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